生产封端剂MM、硅氮烷、头孢类抗生素、活性基团保护剂等。

(1)作为含有硅官能团结构有机硅化合物的原料如三甲基烷氧基硅烷、六甲基二硅氧烷、六甲基二硅氮烷、三甲基氰基硅烷等

(2)作为羟基、羧基、氨基等官能团的保护基

三甲基氯硅烷是在有机分子中引入三甲基甲硅烷基的优良试剂，连接和脱去三甲基甲硅烷基的反应收率高，条件温和，适用范围广，因此在有机合成中得到广泛应用，在医药生产中用于头孢菌素1、头孢菌素V的合成。

(3)广泛用于生化样品的气相色谱分析。

甲硅烷基化衍生物是由某些生化样品与三甲基氣硅烷反应得到的，具有较大的挥发性。

(4)有效调节调节聚合物分子量。

三甲基氯硅烷用作有机硅聚合物的封端剂，有效调节调节聚合物分子量，特别是在硅油的生产中应用广泛。

(5) 用作硅酮油制造的中间体、憎水剂、聚硅酮液中间体、甲基硅油封头剂、抗水剂。