甲基三氯硅烷，是一种有机化合物，主要用于制造硅酮化合物，气相白炭黑、碳化硅衬底外延片生长，碳化硅纳米涂层，高性能碳化硅陶瓷基复合材料。

（1）作为甲基聚硅氧烷树脂的原料

通过与三甲基氯硅烷或六甲基二硅氧烷的调聚，在有机溶剂中形成具有一定固含量的无色或淡黄色液体，用于云母制品的粘接。

（2）分散剂WA

表面官能化制剂，适用于织物和介孔材料，增加其疏水性。

（3）作为生产硅酮胶交联剂的原料

和甲醇进行酯化反应生成甲基三甲氧基硅烷、与乙醇酯化反应生产甲基三乙氧基硅烷或聚甲基三乙氧基硅烷（3#防水剂）、和丁酮肟反应生成甲基三丁酮肟基硅烷、与醋酸反应生成甲基三乙酰氧基硅烷等。

（4）作为甲基硅酸的原料

通过与水的水解反应，控制反应温度和速度，生成一定固含量的白色固体颗粒甲基硅酸，用于生产防水剂。

（5）碳化硅

碳化硅衬底外延片生长，碳化硅纳米涂层，高性能碳化硅陶瓷基复合材料

（6）作为生产气相二氧化硅的原料

在氢火焰中进行高温水解，形成一定比表面积的无定型二氧化硅颗粒，也就是我们平时所说的气相白炭黑。